Υπόστρωμα MgF2
Περιγραφή
Το MgF2 χρησιμοποιείται ως φακός, πρίσμα και παράθυρο για μήκος κύματος από 110nm έως 7,5μm.Είναι το καταλληλότερο υλικό ως παράθυρο για ArF Excimer Laser, λόγω της καλής μετάδοσής του στα 193nm.Είναι επίσης αποτελεσματικό ως οπτικό πολωτικό στην υπεριώδη περιοχή.
Ιδιότητες
| Πυκνότητα (g/cm3) | 3.18 |
| Σημείο τήξης (℃) | 1255 |
| Θερμική αγωγιμότητα | 0,3 Wm-1K-1 στους 300K |
| Θερμική διαστολή | 13,7 x 10-6 /℃ παράλληλος άξονας c 8,9 x 10-6 /℃ κάθετος άξονας c |
| Σκληρότητα Knoop | 415 με εσοχή 100 g (kg/mm2) |
| Ειδική θερμοχωρητικότητα | 1003 J/(kg.k) |
| Διηλεκτρική σταθερά | 1,87 στον παράλληλο άξονα c 1MHz 1,45 στον κάθετο άξονα c 1MHz |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Μέτρο διάτμησης (G) | 54,66 GPa |
| Μαζική μονάδα (K) | 101,32 GPa |
| Συντελεστής ελαστικότητας | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Φαινόμενο Ελαστικό Όριο | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Αναλογία Poisson | 0,276 |
Ορισμός υποστρώματος MgF2
Το υπόστρωμα MgF2 αναφέρεται σε ένα υπόστρωμα κατασκευασμένο από κρυσταλλικό υλικό φθοριούχου μαγνησίου (MgF2).Το MgF2 είναι μια ανόργανη ένωση που αποτελείται από στοιχεία μαγνησίου (Mg) και φθορίου (F).
Τα υποστρώματα MgF2 έχουν αρκετές αξιοσημείωτες ιδιότητες που τα καθιστούν δημοφιλή σε μια ποικιλία εφαρμογών, ειδικά στους τομείς της οπτικής και της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης:
1. Υψηλή διαφάνεια: Το MgF2 έχει εξαιρετική διαφάνεια στις περιοχές υπεριώδους (UV), ορατές και υπέρυθρες (IR) του ηλεκτρομαγνητικού φάσματος.Έχει ένα ευρύ φάσμα μετάδοσης από το υπεριώδες στα περίπου 115 nm έως το υπέρυθρο στα περίπου 7.500 nm.
2. Χαμηλός δείκτης διάθλασης: Το MgF2 έχει σχετικά χαμηλό δείκτη διάθλασης, γεγονός που το καθιστά ιδανικό υλικό για επιστρώσεις AR και οπτικά, καθώς ελαχιστοποιεί τις ανεπιθύμητες αντανακλάσεις και βελτιώνει τη μετάδοση του φωτός.
3. Χαμηλή απορρόφηση: Το MgF2 παρουσιάζει χαμηλή απορρόφηση στις υπεριώδεις και ορατές φασματικές περιοχές.Αυτή η ιδιότητα το καθιστά χρήσιμο σε εφαρμογές που απαιτούν υψηλή οπτική διαύγεια, όπως φακούς, πρίσματα και παράθυρα για υπεριώδεις ή ορατές ακτίνες.
4. Χημική σταθερότητα: Το MgF2 είναι χημικά σταθερό, ανθεκτικό σε ένα ευρύ φάσμα χημικών ουσιών και διατηρεί τις οπτικές και φυσικές του ιδιότητες κάτω από ένα ευρύ φάσμα περιβαλλοντικών συνθηκών.
5. Θερμική σταθερότητα: Το MgF2 έχει υψηλό σημείο τήξης και μπορεί να αντέξει υψηλές θερμοκρασίες εργασίας χωρίς σημαντική υποβάθμιση.
Τα υποστρώματα MgF2 χρησιμοποιούνται συνήθως σε οπτικές επιστρώσεις, διαδικασίες εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης και οπτικά παράθυρα ή φακούς σε διάφορες συσκευές και συστήματα.Μπορούν επίσης να χρησιμεύσουν ως ρυθμιστικά στρώματα ή πρότυπα για την ανάπτυξη άλλων λεπτών υμενίων, όπως υλικά ημιαγωγών ή μεταλλικές επικαλύψεις.
Αυτά τα υποστρώματα παράγονται τυπικά χρησιμοποιώντας τεχνικές όπως εναπόθεση ατμού ή μέθοδοι φυσικής μεταφοράς ατμών, όπου το υλικό MgF2 εναποτίθεται σε ένα κατάλληλο υλικό υποστρώματος ή αναπτύσσεται ως ένας μόνο κρύσταλλος.Ανάλογα με τις απαιτήσεις εφαρμογής, τα υποστρώματα μπορεί να έχουν τη μορφή γκοφρετών, πλακών ή προσαρμοσμένων σχημάτων.
